磷烷氫氣混合氣磷烷氫氣混合氣簡介
磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。無色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。
產(chǎn)品規(guī)格
| 氣體 | 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 1%PH3+H2 | 1+/-0.03% | PH3:?6N?H2O≤0.1，CO2≤0.1，N2≤0.1，O2+Ar≤0.2，AsH3≤0.1,，THC≤0.1 | 48.8L | DISS632 | 100KGf/cm2 |
| H2:?O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 | 440L | DISS632 |
產(chǎn)品用途
在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大，是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
PH3：易燃、易爆、劇毒；其毒性數(shù)為：PEL/TLV 0.3×10， STEL 1×10，LC5020×1O，ZDLH200×10，屬劇毒危害品。